高纯气体管道系统布置不同于普通气体管道，一般要求管线不应大长，不应出现不易吹扫干净的“ 盲管 ”等死角。 在干管或支管末端设置必要的吹除 口和取样口。在一些非连续运行的用户， 在管道末端连续不断的小气量放空， 以使管道内气体常流动，不会出现“ 死空间”。根据过程气体质量要求，必要时还要布置末端净化装置。一 般在进入洁净厂房的高纯气体管道的控 制阀门 、过滤 器 、减压装置 、压力表 、流量计 、 在线分析仪器等 ， 集中设在气体人口室内，便于统一管理和控制。
公司新闻网站公告  新闻分类
联系方式
站内搜索 荣誉资质
友情链接
|
公司新闻 高纯气体管路系统及管道材料施工
2021-08-13IP属地 火星13
气体管路系统布置
高纯气体管道系统布置不同于普通气体管道，一般要求管线不应大长，不应出现不易吹扫干净的“ 盲管 ”等死角。 在干管或支管末端设置必要的吹除 口和取样口。在一些非连续运行的用户， 在管道末端连续不断的小气量放空， 以使管道内气体常流动，不会出现“ 死空间”。根据过程气体质量要求，必要时还要布置末端净化装置。一 般在进入洁净厂房的高纯气体管道的控 制阀门 、过滤 器 、减压装置 、压力表 、流量计 、 在线分析仪器等 ， 集中设在气体人口室内，便于统一管理和控制。 |